射频方式的非金属靶材镀膜 什么是射频射频射频(RF)溅射技术是制备非金属材料薄膜的核心工艺,其通过高频交变电场有效解决了绝缘靶材在沉积过程中的电荷积累问题,从而实现了氧化物、氮化物及陶瓷等介电材料的高质量镀膜 。与直流(DC)溅射仅适用于导电靶材不同,RF溅射利用频率通常为13.56 MHz的射频电源,使等离子体中的电子能够跟随电场快速振荡,从而在绝缘靶表面形成负的直流自偏压,维持放电的连续...
离子束刻蚀镀膜研磨仪型号:HSC126产品展示:01原理介绍HSC 126离子束刻蚀镀膜研磨仪 ,配备两把鞍型场离子枪,其中一把用于对样品进行精细化镀膜 ,一把用于对样品进行高精度抛光和切割。02主要技术参数:真空系统• 真空获得:前级机械泵,后级分子泵• 极限真空:优于10-4Pa离子枪• 离子枪种类:鞍型场枪,非聚焦• 离子枪数量:2把• 离子枪加速电压:0~10kV• 离子枪工作电流:...