离子枪
•离子枪种类：鞍型场枪，非聚焦
• 离子枪数量：3把
• 离子枪加速电压：0~10kV
• 离子枪工作电流：最大6mA
• 离子枪工作气体：氩气，纯度高于99.999 %
• 进气气压：200~800mbar
• 气体流速：小于1sccm ，控制精度1%
• 离子枪套件寿命：不小于200h
抛光样品台
• 样品台旋转：支持360°连续旋转
• 电机转速：三档调节，2RPM 、6RPM 、12RPM
• 样品台倾转：最大45°
• 样品台X方向调节：±10mm
• 最大样品尺寸：Φ30mm
• 最大样品厚度：14mm
• 配备抛光样品装样工装
切割样品台
• X方向调节：±7mm
• Y方向调节：±2mm
• 配备切割样品装样工装
真空系统
• 真空泵组：前级机械泵加后级涡轮分子泵
• 极限真空：优于5*10-4Pa
• 真空测量方式：全量程真空规
• 真空系统清洗：工作气体清洗
• 清洗时间和次数：用户可设定
选配项
减薄样品台
• 样品台旋转：支持360°连续旋转
• 电机驱动：三档调节，2RPM 、6RPM 、12RPM
• 样品台倾转：最大45°
• 样品装夹方式：双角夹持
• 观察方式：摄像头、双目、三目显微镜选配
• 自动终止功能：支持
冷冻抛光样品台
• 样品台旋转：支持360°连续旋转
• 电机转速：三档调节，2RPM 、6RPM 、12RPM
• 样品台倾转：最大45°
• 样品台X方向调节：±10mm
• 最大样品尺寸：Φ30mm
• 最大样品厚度：14mm
• 最低温度：优于-160℃
冷冻切割样品台
• X方向调节：±7mm
• Y方向调节：±2mm
• 最低温度：优于-160℃
真空冷冻传输装置
• 适配隆斯克普CVC 100真空冷冻样品转移
