电镜制样解决方案-离子束刻蚀镀膜仪

离子束刻蚀镀膜仪

型号：HSC120

产品展示:

真空系统

• 真空获得：前级机械泵，后级分子泵

• 极限真空：优于10-4Pa

离子枪

• 离子枪种类：鞍型场枪，非聚焦

• 离子枪数量：1把

• 离子枪加速电压：0~10kV

• 离子枪工作电流：最大6mA

• 离子枪工作气体：氩气，纯度高于99.999%

• 进气气压：200~800mbar

• 气体流速：小于1sccm ，控制精度1%

• 离子枪套件寿命：不小于200h

镀膜样品台

• 标配样品台：支持7个标准钉盘同时安装

• 样品台特殊定制：支持

• 样品台旋转：支持360°连续旋转，电机驱动

• 样品台倾转：手动拨动，25°

镀膜靶材托

• 靶材托数量：4

• 靶材尺寸：28mm

• 金属靶材：支持